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曝光顯影精度控制工藝


  由于3D曲面CG玻璃需要和中框的完美結(jié)合,但是3D曲面CG玻璃本身物理加工又存在難以去除的公差,在進(jìn)行曝光工藝加工時(shí)工藝誤差區(qū)間被壓縮,所以必須對(duì)以下幾個(gè)方面公差進(jìn)行綜合控制:

  a) CG成型公差

  b) 掩膜板(MASK)成型公差

  c) 掩膜版轉(zhuǎn)印圖形公差

  d) CG與掩膜版定位偏差

  e) 光源平行度

  在曝光顯影工藝中,只有對(duì)以上各種公差配合完全掌握,才能簡單可靠完美的做出合格產(chǎn)品。